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在一些非连续运行的用户, 在高纯---管道末端连续不断的小气量放空, 以使管道内气体常流动,不会出现“ 死空间”。根据过程气体要求, ---时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯---气体管道的控制阀门 、过滤器 、减压装置 、压力表 、流量计 、 在线分析仪器等 , 集中设在气体人口室内,便于统一管理和控制。
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