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高纯---气体管路的设计要点科晶化工厂家今天来为各位介绍一下高纯---气体管路的设计要点:
1根据高纯---用气设备的分布情况,高纯---气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
2对高纯---气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
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高纯---配管及管道、附件材料
科晶化工厂家今天来为各位介绍一下高纯---配管及管道、附件材料:
从微米 技术进入亚微米 、深亚微米 (小于0.35um )技术,对高纯---气体中的杂质含量、水含量要求---严格 ,10-6 (ppm 级 ) 已经不能达到要求,需要达到 10-9 (ppb 级) ,甚至10-12(ppt级 ),尘埃粒径要求控制到 0.05-0.01um。因此输送高纯---管道本身的管道材料特性适应高纯、纯气体的要求成为必须。
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科晶化工厂家今天来为各位介绍一下高纯---管道系统布置。
高纯---气体管道系统布置不同于普通气体管道,一般要求管线不应大长,不应出现不易吹扫干净的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端设置---的吹除 口和取样 口。
在一些非连续运行的用户, 在高纯---管道末端连续不断的小气量放空, 以使管道内气体常流动,不会出现“ 死空间”。根据过程气体要求, ---时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯---气体管道的控制阀门 、过滤器 、减压装置 、压力表 、流量计 、 在线分析仪器等 , 集中设在气体人口室内,便于统一管理和控制。
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